Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния.
Главный бак системы оборудован патрубками для постоянного безопасного отвода HF-пара. Для прямого слива HF установлены фторопластовые вентили. Имеется возможность установки оптического окна для формования с участием света.
Окно изготовлено из устойчивого к HF сапфирового стекла c кварцевыми дисками в качестве защиты от растрескивания и устанавливается в герметичный фланец. В других случаях устанавливается заглушка из непрозрачного полипропилена. Пластина устанавливается в заменяемый держатель и закрепляется двойными уплотнительными кольцами, разделяя бак на две ванны. Далее держатель фиксируется пневматикой. После этого обе ванны с HF изолируются от электричества.
Два платиновых сетчатых электрода, по одному на ванну, контактируют с пластиной с обоих сторон. Для достижения равномерности эл. поля используются электроды одинакового размера с пластиной. Если требуется полное отсутствие ионов металла в рабочем, поле, электроды выполняются из кремния. При необходимости возможна рециркуляция HF с помощью мембранной помпы. Это позволяет жидкости остывать за счет теплового обмена. Доступны индивидуальные решения по спецификациям заказчика.
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.